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一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器

完成时间:2018-07-30

标的金额:面议

性质:其他

发布日期 2018-11-05 行业类别 其他
成熟度 其他 合作方式 其他

详细介绍

本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器,滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成,“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜,其上的反射膜作为法布里-珀罗滤波器的前腔镜,“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成,其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极,下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得200μm以上的初始腔长,能在不同方向上实现单一波长的滤波,具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点,在光通讯,光信息读取,激光技术等领域中有广泛的应用前景。

基本信息

单位名称:
联系人: 邹杰
通讯地址:
联系电话: 13405658596 E - mail:
传真: 网  址:
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